引言

在TFT-LCD玻璃基板后加工过程中，面板生产加工的所有制程都依赖于玻璃基板表面，因此玻璃基板的品质对面板工艺以及品质有重要的影响。T-M1-FimBroken(破膜）是面板生产过程中影响良率的一个主因，而造成这一主因发生的是面板的原料液晶基板玻璃出现了问题，因此研究范围定义在液晶基板玻璃的后加工制造。

该篇文章刊登在《建筑玻璃与工业玻璃》2024年第7期