引言

生产洁净车间，又称为无尘车间（无尘室）、洁净间（洁净室）等，因环境洁净度要求高被广泛应用在平板显示、生物制药、光电制品和电子信息等高精尖领域。在FED-STD{美国联邦政府颁布的标准[Federal Standard (FS) 209E， 1992]}里面，洁净间被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定规则的操作程序以控制空气中的悬浮微粒浓度为主导，通过一系列管控措施达到适当的微粒和洁净度级别。

该篇文章刊登在《建筑玻璃与工业玻璃》2024年第4期