内容简要:椭圆偏振光谱测量是一种采用偏振光表征薄膜、表面和材料的无损技术,主要用于确定薄膜结构的厚度和光学常数(n,k)。本文对椭偏仪的基本原理做简要分析,阐述了椭偏仪数据处理的过程,并以在线Low-E镀膜玻璃为例,研究了椭偏仪的应用技术。
该篇文章刊登在《建筑玻璃与工业玻璃》2024年第1期