摘要：玻璃基片的表面清洁程度对镀膜十分重要，作者采用线性离子源在线清洗技术，对玻璃基片进行清洗处理。对比线性离子源清洗与传统超声清洗技术的清洗效果，分析离子源对玻璃基片的作用深度，以及对玻璃基片表面粗糙度与成分的改变。结果表明，线性离子源清洗能有效降低玻璃基片的缺陷密度、表面粗糙度及表面碳污染，有利于提高后续镀膜的质量。


该篇文章刊登在《建筑玻璃与工业玻璃》2019年第2期