摘 要：光学石英玻璃因其优异的综合性能而成为激光核技术、航空航天、半导体集成电路、光电器件和精密仪器等高端光电子技术领域不可或缺的关键光学材料。重点介绍了化学气相沉积、等离子化学气相沉积和间接合成法等光学石英玻璃合成制备工艺优缺点、发展现状、材料性能与应用等。
该篇文章刊登在《建筑玻璃与工业玻璃》2017年第6期