摘 要：薄膜厚度是薄膜测试领域中非常重要的参数。利用直方图法处理触针式轮廓仪测试数据(标准样品、制备样品)得到台阶高度，是获取薄膜厚度的方法之一。通过对样品的台阶高度、椭偏测试计算结果的对比分析，发现直方图法能够有效避免人为因素的影响，适用于10nm以上的薄膜厚度的测量，是目前最适于定为薄膜厚度测试标准的方法。
该篇文章刊登在《建筑玻璃与工业玻璃》2017年第5期