中国面板厂商惠科(HKC)计划在新建第六代 OLED 产线采用整板蒸镀工艺,此举将大幅加重韩国显示设备供应商的设备改版负担。
据行业消息人士 5 月 11 日透露,惠科正就新建 6 代 OLED 产线与韩国及海外供应商洽谈设备规格,公司正评估设备配置与工艺方案,计划在第三季度公布投资计划。惠科拟为这条 6 代 OLED 产线采用无切割蒸镀工艺,即母玻璃基板在加工前不进行裁切,直接送入蒸镀设备。标准 6 代 OLED 母玻璃尺寸约为1850mm×1500mm。
现有主流 6 代 OLED 产线通常会先将母玻璃对半裁切,形成约925mm×1500mm的半片基板,再装入蒸镀设备。按照惠科评估的整板方案,1850mm×1500mm的整片玻璃将不分割,直接在物流系统中流转,蒸镀及配套工艺均以整片基板形式完成。这使得专为半片基板设计的现有设备无法直接套用。
设备厂商需对物流、蒸镀、支撑、检测系统全面改版,以适配更大尺寸。业内人士表示,玻璃传输方式、支撑结构、制程中防下垂控制、设备间连接结构等都需重新设计。一位业内人士称:“若惠科坚持使用整片母玻璃,设备必须改版。这并非简单沿用现有半片设备,物流与制程设备的全规格都要修改。”
要让整片基板顺畅通过产线,负责输送的物流系统、转运与稳定玻璃的支撑设备、检测工具都必须兼容更大尺寸,仅更换蒸镀系统不足以搭建完整产线。改版本身也引发对潜在新技术问题的担忧。基板尺寸放大后,在半片系统中影响较小的变量 —— 包括设备刚性、玻璃下垂、传输稳定性、对位误差等,都可能成为重大挑战,改版后还需额外验证与优化。
另一位业内人士表示:“整片式设备比半片系统需要验证的环节更多,设备尺寸放大后可能出现全新问题。”
惠科考虑无切割工艺的原因是可减少工序。母玻璃对半裁切后,两片需分别加工;保持基板完整可让整片玻璃连续走完全流程。但在 OLED 蒸镀中,基板尺寸越大,制程难度越高。玻璃下垂更难控制,精细金属掩膜(FMM)工艺的平整度维持也更具挑战,这也是现有 6 代 OLED 产线普遍采用半切方案的重要原因之一。
另有消息称,惠科去年已收购日本显示器公司(JDI)的二手6 代OLED 设备,业内消息显示,惠科计划在利用这批设备的同时新增设备,市场也推测其可能采用 JDI 的无 FMM eLEAP 技术。
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