10月20日,据韩媒ETnews报道,三星显示拟将低温多晶硅 (LTPO) 薄膜晶体管 (TFT) 导入到其第8.6代OLED生产线之中。目前,三星显示就建设LTPO TFT生产线已开展评估工作,与之相关的核心设备引进事宜也在商谈中。
有业内人士透露:“三星显示正寻求8.6代LTPO设备,目标是在明年第四季度实现设备就位。”
新产线拟引进的具体设备为准分子激光退火(ELA),是实现LTPO TFT的关键设备。LTPO结合了具有高电子迁移率的低温多晶硅(LTPS)与低漏电流特性氧化物材料,而这一工艺需通过ELA激光来实现的。报道称,这是三星显示首次在8.6代制造工艺中布局LTPO TFT,此前公司一直专注于构建氧化物TFT技术。目前,以玻璃基板为基准,该生产线月产能达7500张(7.5K),正处于试运行阶段。此次三星显示“一反常态”布局8.6代OLED LTPO产线,引起了业界的关注。有观点认为,三星布局新工艺是为强化自身市场应对能力,以满足客户多样化订单需求。此外,还有业内人士指出:“此次扩展技术布局,不排除主要客户已向三星显示提出搭载LTPO的明确要求。”相比LTPO,氧化物技术无需ELA设备和离子注入设备,有助于降低制造成本;但其电子迁移率仅为LTPO的十分之一,因此在性能表现上仍逊色于LTPO。据悉,三星显示计划在8.6代生产线中,为2026年下半年即将推出的苹果MacBook Pro打造氧化物TFT OLED面板。
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