引言

TFT-LCD玻璃基板表面的ADG（adhesion glass 俗称玻璃粉）有一定的高度，在面板厂的CF（color filter）端和TFT（thin film transistor）端均会引起面板的机能问题，产生不良。ADG是在加工过程（TFT-LCD玻璃基板热端和冷端制造加工过程）中由于化学反应与玻璃表面产生共价键，粘在玻璃表面上无法去除，或是虽然没有粘在表面但由于形状为扁平，也很难从玻璃表面洗净，只有废弃或降级处理。这是影响良率和加工成本的一项重要缺陷，因此对ADG发生机理分析和预防机制的研究，是减少或杜绝ADG发生率的重要工作。本文针对玻璃基板表面ADG的发生和预防进行研究讨论。

该篇文章刊登在《建筑玻璃与工业玻璃》2024年第6期