浅析LCD（A-Si）制造工艺中节距偏差、套准精度影响因素
孙理想，谢玲玲，崔 嵬，潘庆龙，汪正武，徐 亮，郑 辉，冯 力，郭璐易，吴雪梅
（彩虹（合肥）液晶玻璃有限公司，合肥 230011）
提要：本论文从玻璃基板热性能及曝光补偿工艺、CVD型号及腔体、Gate材质等方面来探究阵列制程中TP及OL影响因素，通过验证及数据对比方式，呈现以上因素对TP及OL影响程度，并为LCD-阵列制程中TP及OL问题对策提供一定参考及改善方向。
该篇文章刊登在《建筑玻璃与工业玻璃》2023年第8期