公开(公告)号: CN111559875A
公开(公告)日:20200821
申请(专利权)人:广东旗滨节能玻璃有限公司
深圳市新旗滨科技有限公司
本发明公开了一种镀膜玻璃及其制备方法,其包括:玻璃基片;功能膜系层,沉积于所述玻璃基片表面上;氮化硅锆铝层,沉积于所述功能膜系层表面上,其中,所述氮化硅锆铝层是以硅锆铝三元材料为靶材在含氮气氛下经磁控溅射沉积而成,所述硅锆铝三元材料的组成及重量百分比为:Zr为12~16%,Al为5~7%,余量为Si和无法避免的杂质。本发明中,该氮化硅锆铝层同时具有优良的耐氧化性、耐磨性、耐擦拭性及耐酸性,使得镀膜玻璃在运输、储藏和加工的过程中能更好地保护镀膜玻璃中的功能膜系层,可以用于保护用于保护双银镀膜玻璃和三银镀膜玻璃。
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