溅射薄膜制备的源头材料，又称溅射靶材，特别是高纯度溅射靶材应用于电子元器件制造的物理气相沉积（PVD）工艺，是制备晶圆、面板、太阳能电池等表面电子薄膜的关键材料。真空状态下，用加速的离子轰击固体表面，离子和固体表面原子交换动量，使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面形成所需要的薄膜，这一过程称为溅射。被轰击的固体是用溅射法沉积薄膜的源材料，通常称为靶材。

靶材类别
 

资料来源：智研咨询整理

    靶材产业链：溅射靶材产业链主要包括金属提纯、靶材制造、溅射镀膜和终端应用等环节。其中，靶材制造和溅射镀膜位于中游，是整个溅射靶材产业链中的关键环节。

靶材产业链示意
 

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    半导体领域对靶材要求最高。WSTS（全球半导体贸易统计组织）数据显示，溅射靶材主要应用在平板显示、记录媒体、光伏电池、半导体等领域。其中，在溅射靶材应用领域中，半导体芯片对溅射靶材的金属材料纯度、内部微观结构等方面都设定了极其苛刻的标准，需要掌握生产过程中的关键技术并经过长期实践才能制成符合工艺要求的产品。因此，半导体芯片对溅射靶材的要求是最高的，价格也最为昂贵。

溅射靶材应用结构
 

资料来源：WSTS、智研咨询整理

    当前，全球靶材制造业，特别是高纯度靶材市场，基本被寡头垄断，主要由日本三井矿业、日矿金属、日本东曹、住友化学、日本爱发科，以及美国霍尼韦尔、普莱克斯等美日大型企业主导。根据相关数据，日矿金属是全球最大的靶材生产企业，其靶材销售额全球占比约30％，霍尼韦尔在收购Johnson Mattey后约占全球市场的20％，此外，东曹和普莱克斯市占率分别为20％、10％。这些企业在掌握了溅射靶材的核心生产技术后，实施极其严格保密措施，限制技术外泄，同时，不断进行横向扩张和纵向整合，积极将业务触角伸向溅射镀膜的各个领域，牢牢把握全球溅射靶材市场的主动权，引领全球溅射靶材产业的技术进步。

全球市场主要靶材企业份额
 

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    目前，国内靶材企业发展重点集中在低端产品领域，在半导体、平板显示器和太阳能电池等市场无法与国际巨头充分竞争，而是依靠巨大的国内市场潜力和有利的产业政策，以及产品价格优势，占据国内市场的一定市场份额，逐步抢占个别细分地区一些国际大型工厂的市场空间。近年来，我国政府制定了863计划、02专项基金等一系列产业政策，以加快靶材供应的本土化进程，推动国内靶材实现多种应用领域的跨越。这些都从国家战略的高度支持和促进飞溅靶材产业的发展。为促进飞溅靶材本土企业的发展，提高产业创新能力和国际竞争力，促进传统产业转型和产品升级，中国出台了一系列扶持飞溅靶材产业发展的政策。

历年来靶材相关行业政策
 

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1、半导体芯片用靶材市场分析
半导体是金属溅射靶的主要应用领域之一，也是对靶材组成、结构和性能要求最高的领域。半导体芯片的制造过程可分为三个部分：硅片制造、晶圆制造和芯片封装。半导体芯片的金属溅射靶的作用是制造金属线，将信息传输到芯片。具体溅射过程：首先，利用高速电束流，在高真空条件下分别对不同金属溅射靶材的表面进行轰击，使各种靶材表面的原子层层沉积在半导体芯片表面，然后通过特殊加工工艺，将沉积在芯片表面的金属薄膜蚀刻成纳米级金属线，芯片内数以亿计的微型晶体管相互连接，从而起到传输信号的作用。
SEMI统计，溅射靶材占半导体密封材料市场的2.7％左右，2018年中国半导体密封材料销售额为197亿美元，溅射靶材市场约为5.31亿美元。综合计算，2019年半导体靶材市场约48亿元。

2018-2022年中国半导体用靶材市场规模及预测
 

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2、平板显示用靶材市场分析

    镀膜是平板显示行业不可或缺环节之一。平板显示使用的PVD涂层材料主要是溅射靶材，其特性，如分辨率和透射性，与薄膜的特性密切相关。面板生产过程中，玻璃基板需要多次溅出和涂覆才能形成ITO玻璃，然后对液晶显示器（LCD）、等离子显示器（PDP）、有机发光二极管显示器（OLED）等进行涂层处理。平板显示器还包括基于LCD开发的触摸（TP）显示产品。产品具有厚度薄、重量轻、能耗低、辐射低、无闪烁、寿命长等特点，已成为显示行业的主流。

    平板显示面板行业的快速增长为靶材制造商提供了广阔的增长空间。图形显示行业靶材市场增长明显，呈现爆炸式增长。基于产品价格、采购本地化等考虑，面板制造商特别是液晶显示器对材料国产化的需求十分迫切。随着产能向国内转移，靶材需求规模有望进入长期增长。预计2020年国内FPD靶材市场将达到150亿元，2022年达到206.5亿元。

2018-2022年中国平板显示用靶材市场规模及预测
 

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