公开（公告）号：CN106399964B

公开（公告）日：2018.08.21

申请（专利权）人：信义玻璃(天津)有限公司

本发明涉及自动化设备技术领域，尤其涉及电动可调镀膜挡板装置及镀膜设备。本发明的电动可调镀膜挡板装置，应用于镀膜设备中，所述镀膜设备包括间隔设置的靶材和基片，电动可调镀膜挡板装置包括底板、设于底板上方的挡板组件以及设于底板上方与挡板组件连接并用于控制挡板组件运动以伸出底板外至靶材与基片之间的调节机构。在真空镀膜过程中，当检测到基片上膜层存在不均匀区域时，调节机构控制挡板组件延伸出底板外至靶材与基片之间，使得挡板组件挡住膜层较厚区域的基片，从而控制该区域膜层的均匀性。本发明的电动可调镀膜挡板装置可在真空状态下对基片上膜层均匀性进行大范围的调节，有效地节约时间和成本。