申请号 CN201611188145.4 申请日 2016.12.21 公开(公告)号 CN106591789A 公开(公告)日 2017.04.26 申请(专利权)人 蚌埠玻璃工业设计研究院、中国建材国际工程集团有限公司、安徽省包装印刷产品质量监督检验中心 本发明公开一种直接制备绒面AZO薄膜的方法,包括采用直流磁控溅射工艺,将玻璃衬底加热至300℃后,在玻璃衬底上溅射厚度为180~220nm的底层AZO薄膜;关闭磁控溅射装置,使玻璃衬底冷却至室温;将玻璃衬底由室温加热至300℃后,在底层AZO薄膜上溅射厚度为180~220nm的中间层AZO薄膜;关闭磁控溅射装置,使玻璃衬底冷却至室温;将玻璃衬底由室温加热至300℃后,在中间层AZO薄膜上溅射厚度为180~220nm的顶层AZO薄膜,最终得到层叠的绒面AZO薄膜;在反复的冷却和加热过程中,晶粒尺寸大幅度增加,使得每层AZO薄膜表面都呈凹凸结构,三层叠加后,得到具有绒面织构的AZO薄膜;本发明舍弃了传统的蚀刻方式,能够避免薄膜材料的消耗,节省生产成本,并且保证薄膜质量。