申请号 CN201611188589.8
申请日 2016.12.21
公开（公告）号 CN106637117A
公开（公告）日 2017.05.10 
申请（专利权）人 蚌埠玻璃工业设计研究院、中国建材国际工程集团有限公司
 
    本发明公开了一种高效氮掺杂二氧化钛薄膜的制备方法，包括如下步骤：（1）清洗玻璃基片，后用高压N2吹干；（2）采用直流耦合射频磁控溅射的方法沉积氮掺杂二氧化钛薄膜，即射频电源与匹配器相连接后与直流电源一起连接至滤波器，滤波器直接连接阴极，射频电源和直流电源一起供电给阴极。本发明采用直流耦合射频磁控溅射的方法沉积氮掺杂二氧化钛薄膜，从而得到沉积速率快，膜层质量高的薄膜。本发明工艺简单，条件易控，制备周期短，易于规模放大。制备的氮掺杂二氧化钛薄膜结晶度高，与基底结合牢固，稳定性好，可重复使用。