目前,国内使用最广泛的单银可钢化Low-E玻璃生产工艺,是在玻璃表面依次沉积氮化硅、镍铬、银、镍铬、氮化硅,该工艺生产出的产品,颜色丰富,耐磨擦性能好,钢化前后色差和可见光透过率变化小。本文将讨论在该生产工艺下,为了生产高质量可钢化Low-E玻璃,在使用不同的硅铝靶溅射功率时,如何选择最合适的工艺气体流量和氩/氮气比例,使玻璃钢化前后可见光透过率的变化最小。
该篇文章刊登在《建筑玻璃与工业玻璃》2016年第12期