公开（公告）号:CN104045221B公开（公告）日:2016.06.08申请（专利权）人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所 本发明公开了一种柔性超薄玻璃的制备方法，采用化学气相沉积技术，在低熔点的锡溶液上首先制备一层氮化硅薄膜，再制备一层二氧化硅薄膜，最后抽取Si3N4/SiO2膜，根据柔性玻璃的用途进行相应的抛光处理。本发明还公开了一种柔性超薄玻璃的制备方法，采用碎玻璃粉熔凝技术。本发明两种柔性超薄玻璃的制备方法简单、制作原材料来源丰富、价格便宜、均可获得厚度为1μm～50μm的柔性超薄玻璃，且得到的超薄玻璃柔性高、光透射率好。本发明得到的柔性超薄玻璃具有极强的应用潜力，可在TFT-LCD液晶显示领域和薄膜太阳电池等新能源领域得到广泛应用。