公开(公告)号:CN204224460U公开(公告)日:2015.03.25申请(专利权)人:北京物华天宝镀膜科技有限公司
一种大面积高透镀膜玻璃,包括玻璃基片,所述玻璃基片为浮法玻璃基片;在所述浮法玻璃基片上依次沉积第一氮化硅SiNx层、第一陶瓷AZO层、第一金属镍铬NiCr层、金属银Ag层、第二金属镍铬NiCr层、第二陶瓷AZO层和第二氮化硅SiNx层;所述第一氮化硅SiNx层厚度为50~100nm,所述第一陶瓷AZO层10~30nm,所述第一金属镍铬NiCr层厚度为3~10nm,所述金属银Ag层厚度为3~9nm,所述第二金属镍铬NiCr层厚度为3~10nm,第二陶瓷AZO层10~30nm,所述第二氮化硅SiNx层厚度为80~160nm。本实用新型的积极效果:解决因使用新型单靶直流溅射沉基陶瓷AZO靶制作高透产品时出现电纹状质量问题,适用于镀多层镀膜结构,能有效降低电源、靶材和其它附带费用。