<申请号>200920035730.X
<申请人>江苏秀强玻璃工艺有限公司
氧化锌绒面透明导电镀膜玻璃生产装置，采用卧式基片移动方式，由十个独立模块串联组合而成。它装有三个直流溅射电源和十二个中频溅射电源，电源之间可以互换;在溅射镀膜室的前、后锁定室和缓冲室增加等离子体源产生装置，该等离子体源产生的等离子体能够对玻璃基片进行轰击处理，在玻璃表面形成绒面;也能对溅射镀制的ZNO膜面进行轰击处理，形成ZNO绒面透明导电玻璃;各溅射室之间装真空锁，避免串气、以及根据需要开启各室的真空系统，降低电耗;在进片和前锁定室有加热装置、在传输辊上套装无水冷却就可耐热200℃的含氟橡胶轮。
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