<申请号>200920035732.9

<申请人>江苏秀强玻璃工艺有限公司

    一种等离子体源结构在同一条轴线上依次设有屏蔽罩装置(A)、产生离子源电源引线(B)、气体离化室(C)、等离子体出口(D)、气体和离子分离区(E)、套管(M)、离子体出口(K)，屏蔽罩装置(A)套在产生离子源电源引线(B)的外部，壳体(N)套在气体离化室(C)、等离子体出口(D)、气体和离子分离区(E)的外部，电磁装置(F)套在壳体(N)的外部，法兰(I)位于套管(M)外侧，聚焦电极(H)连接在法兰(I)上，聚焦电压源(G)与聚焦电极(H)连接，聚焦等角度变动装置(L)壳体(N)的外部，气体入口(J)位于壳体(N)的外部。其可见光总透射率≥75％、方块电阻8～20Ω/□、厚度为400～1000NM的ZNO透明导电镀膜玻璃时，薄膜的绒度在4～9％之间。