<申请号>200810235987.X
<申请人>苏州新爱可镀膜设备有限公司
本发明公开了一种等离子气氛稳定性较好的镀膜玻璃用磁控镀膜真空腔室,包括:腔室,设置在腔室内的三个隔离通道,在每个隔离通道上分别开设有玻璃输送通道,在玻璃输送通道的上、下两侧分别设置有气氛隔离挡板。本发明适用于镀膜玻璃生产装置。