摘 要:本文主要探讨利用磁控溅射法获得优良光学和电学性能的AZO薄膜,并研究优化的湿化学蚀刻方法获得具有理想表面形貌的AZO导电玻璃,用于提高非晶硅薄膜电池的光电转换效率。
关键词:AZO 磁控溅射 表面形貌 非晶硅薄膜电池
该篇文章刊登在《建筑玻璃与工业玻璃》2014年第11期