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磁控溅射氧化锡镀膜工艺
类别：建筑玻璃与工业玻璃杂志  日期：2014-1-2  来源：  点击率：26100  打印 关闭

 

摘    要:本文通过对磁控溅射氧化锡镀膜工艺的研究，指出在不同溅射功率、不同工艺气体流量下，如何稳定、高效地控制氧化锡磁控溅射镀膜工艺。

关键词:磁控溅射  氧化锡  气体流量  阴极电压


该篇文章刊登在《建筑玻璃与工业玻璃》2013年第12期)

 



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