<申请号>200510020000

<申请人>武汉理工大学

        本发明是微晶玻璃与不锈钢材料的超低温阳极键合方法及装置。本方法是：先将样品玻璃进行熔制和按热处理工艺进行处理，然后将获得的微晶玻璃基片和不锈钢基片进行抛光、清洗、干燥，再迅速放进阳极键合装置内，使之在１００～１８０℃及键合电压为６００～１０００Ｖ状态下实现有效阳极键合，并获得新的键合材料。本装置设有真空泵（１）、温度控制器（２）、真空室（３）和高温摄像装置（７），真空室的内腔自上而下依次装有阴极（４）、微晶玻璃基片（５）、不锈钢基片（６）、阳极（８）、加热板（９）和冷却水管（１０）。本发明能在较低的键合温度及键合电压下实现材料的有效阳极键合，从而获得残余应力小、键合强度高、密封性好的新材料。




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