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浅析部分氧化镍铬膜生产工艺
类别：建筑玻璃与工业玻璃杂志  日期：2013-6-7  来源：  点击率：29916  打印 关闭


摘  要：本文通过对磁控溅射部分氧化镍铬膜工艺的研究，指出在不同工艺气体流量下，在不同溅射功率下，如何稳定控制部分氧化镍铬膜的生产。

关键词：磁控溅射 镍铬膜 部分氧化 气体流量 阴极电压


（该篇文章刊登在《建筑玻璃与工业玻璃》2013年第5期)







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