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带有ITO膜的基板及其制造方法
类别:玻璃专利
日期:2012-9-24
来源:
点击率:19308
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<申请号>02802353
<申请人>日本板硝子株式会社
本发明提供一种耐碱性和密合性优良的带有ITO膜的基板。该带有ITO膜的基板是在玻璃基板(101)的表面上按照如下的顺序依次层合滤色片(102)、有机保护膜(103)、中间层(104a)、(104b)和形成了电极图案的ITO膜(105)而得到的结构。中间层(104a)是通过使用Ar作为导入气体的高频溅射法在有机保护膜(103)的表面上成膜的、难于溶解于碱中的金属氧化物构成,中间层(104b)是通过反应溅射法或高频溅射法成膜的、难于溶解于碱中的金属氧化物或金属氮化物构成。
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