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涂有介电层的基材及其制造方法和制造装置
类别:玻璃专利
日期:2012-6-19
来源:
点击率:18384
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<申请号>200480024728
<申请人>法国圣戈班玻璃厂
本发明涉及其上面涂有至少一层电介质薄层的诸如玻璃基材的基材(1)。按照本发明,借助于比如磁场辅助和优选在氧和/或氮存在下的反应性的阴极雾化,在曝露在来源于离子源(4)的至少一束离子束(3)的条件下沉积电介质层。本发明的特征在于,所述曝露在离子束下的电介质层被结晶。
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