标准编号:JC/T 181-2011
标准状态:即将实施
替代情况:替代JC/T 181-1981 (1996)
发布部门:中华人民共和国工业和信息化部
发布日期:2011-12-20
实施日期:2012-07-01
出版社: 建材工业出版社
出版日期:2012-07-01
标准简介
本标准规定了半导体用透明石英玻璃器件的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃器件,包括透明石英玻璃扩散管、透明石英玻璃舟、透明石英玻璃保温桶、透明石英托架、透明石英瓶、透明石英清洗缸等。其它用途的透明石英玻璃器件可参照本标准。