引言

随着平板显示、智能玻璃行业的快速发展，大面积玻璃基板的镀膜工艺需求日益增长。立式连续镀膜线因其优异的膜层均匀性和较高的空间利用率，已成为平板显示、智能玻璃行业大规模生产的主流装备。但在实际量产应用中，为降低抽气负荷、提升靶材利用率、保障磁控溅射镀膜均匀性，立式镀膜线真空腔室的内部通行宽度设计极为紧凑，仅预留了极小的安全间隙（一般略大于玻璃基板与承载料架的总厚度）。这种窄腔结构直接带来两大核心工程痛点：一是大尺寸料架在高速传输、加减速换向过程中易出现姿态摆动，与腔体内壁、内部件发生剐蹭撞击，轻则造成膜层缺陷、腔体污染，重则导致玻璃崩边破损、设备损坏，引发非计划停机；二是行业内传统料架多为固定式焊接结构，仅能适配单一规格的玻璃基材，产品换型时需整体拆换料架，不仅要提前储备多套定制工装，造成采购与仓储浪费，且拆换、调试耗时长，严重降低了设备综合效率。

该篇文章刊登在《建筑玻璃与工业玻璃》2026年第5期